Step Polishing Machine（ステップポリシングマシン）
段差のある円形製品のポリシング加工専用機。Si・SiO₂・SiCなどの半導体材料の精密ポリシングに対応し、PCおよびNC SERVOコントローラーによりT軸の位置と負荷を高精度に制御いたします。
こちらは標準仕様です。素材・工程に応じたカスタム設計・製造にも対応いたします。
| Control & Drive | |
| Control Shaft | Simultaneous 6-axis · Synchronous 5-axis · Macro Program · Machining time setting |
|---|---|
| Servo Motor | YASKAWA Σ7 |
| Machine Body | |
| GC300 Table | Metal Casting · Gross Weight 2,200 kg |
| Axis Motion Range | |
| X-Axis | 550 mm (V = 500 mm/sec) |
| Y-Axis | 390 mm (V = 500 mm/sec) |
| Z-Axis | 250 mm (V = 200 mm/sec) |
| T-Axis (Spindle Tilt) | −45° ~ +30° |
| Tool & Spindle | |
| Tool Press Force | Max 5 kgf (Tool Clamp) · Collet ER25 (Max Ø 16) |
| Tool Drive | AC Servo Motor 400W · 80ADA 750W |
| Z2 Cylinder Pressure | 5 ~ 50 kg/cm² (LOADCELL 50 kg) · Load Sensing Display |
| Spindle RPM | Up to 4,500 (3,000 nominal) · YASKAWA Servo |
| Spindle Shaft | Ø 20 (C7004-P5) |
| Tool Change | Manual A.T.C (ISO20) |
| Work Table Rotation | Max 120 RPM |
| Operation & Communication | |
| OP Panel | M21 · Color 12″ TFT LCD |
| Controller | Mitsubishi P.L.C 6-Axis Controller |
| Communication | RS232C · USB Port |
| Workpiece & Footprint | |
| Max Work Area | Ø 500 mm |
| Workpiece Weight | 60 ~ 80 kg |
| Equipment Dimensions (W × L × H) | 1,300 × 2,100 × 2,000 mm |
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